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一文詳細解讀高純氣體露點變送器的那些亮點

更新時間:2020-10-26      點擊次數(shù):1309

    在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。

    高純氣體露點變送器是恒智電子科技多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗,結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。

    高純氣體露點變送器這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器,專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。它使用和安裝簡單,可選兩線制、三線制和危險區(qū)域的型號,是一款*可自定義的產(chǎn)品,可以滿足各種特殊需求。

    高純氣體露點變送器亮點:

    測量下限-120°C露點(1ppbV)

    測量穩(wěn)定,重復性好

    高度集成的采樣裝置

    模擬和數(shù)字輸出

    安裝簡便

    VCR過程接口

    設(shè)計緊湊小巧

    顯示/報警單元可選

    高純氣體微量露點變送器

    在許多高純氣體的應(yīng)用中,如半導體行業(yè),氣體的殘留水分對于工藝操作的影響是至關(guān)重要。

    根據(jù)以往的經(jīng)驗,微量水分測量一直是一個難題,這需要使用復雜或昂貴的分析儀測量。現(xiàn)在,密析爾推出了一款簡單、經(jīng)濟的產(chǎn)品,可以在線測量露點達-120°C(小于1ppb)。

    高純氣體露點變送器的優(yōu)勢在于密析爾阻抗傳感器生產(chǎn)和校準的經(jīng)驗和專長。工業(yè)標準材料和制造工藝結(jié)合的低成本變送器,適用于大規(guī)模集成半導體制造廠或高純氣體管線中。

    使用簡單:

    這種獨立的變送器設(shè)計成可無縫接入純氣的過程應(yīng)用中,并可提供可靠的測量結(jié)果。

    高純氣體露點變送器外殼是由冷拉不銹鋼制成,內(nèi)部采用0.25Raμm,以達到小的吸濕性,潔凈度達到清潔室標準。

    該變送器交付完整的校準和操作,并提供4-20mA的校準輸出,能夠連接到密析爾的顯示模塊或中央控制系統(tǒng)。

    該產(chǎn)品的設(shè)計具有小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。這確保了過程應(yīng)用中的響應(yīng)速度,也保證了濕度測量時的響應(yīng)速度。傳感器密封墊圈可以在小壓力10-9torr內(nèi)工作,同時整個系統(tǒng)可承受的da壓力為240Barg(3480psi)。

    安裝和操作簡便

    高純氣體露點變送器安裝簡單。¼”外螺紋VCR氣體接口的間距為120mm,符合標準。整個產(chǎn)品的高度僅為150mm,重量小于500g。Pura是一個兩線或三線制的變送器,提供da的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。

    可選的顯示

    假如應(yīng)用中需要顯示露點值或濕度值,高純氣體露點變送器可以提供兩種顯示。顯示器可以很容易連接,也可以作為Pura的電源。

    服務(wù)與校準

    密析爾為想要少停機時間和設(shè)備可追溯性的用戶提供以下兩種服務(wù):

    傳感器替換–用戶可以簽訂一個有保障的合同,可以更換傳感器。當傳感器出現(xiàn)問題時,可以把更換下來的傳感器返回密析爾檢測,從而實現(xiàn)零停機時間。

    校準–用戶將傳感器返回密析爾,密析爾會對返回的傳感器進行檢查和校準。這樣為過程中的傳感器就可以實現(xiàn)可追溯性。

    陶瓷阻抗傳感器

    高純氣體露點變送器采用阻抗技術(shù),是基于水分子的導電性。密析爾的陶瓷濕度傳感器采用具有的厚薄膜技術(shù)。

    在半導體化的陶瓷基底上,均勻的敷涂了金屬導電層。導電層之間的感濕層能感受到氣體樣品中的水蒸氣分壓。水氣分壓決定了水分子進入感濕層的水分子的數(shù)量,即對應(yīng)于導電層之間的阻抗值。露點值和水氣分壓有一一對應(yīng)關(guān)系。經(jīng)過校驗,阻抗值和露點值的對應(yīng)關(guān)系建立起來,被儲存在變送器的芯片中。

    傳感器采用半導體極的陶瓷材料作為基底,給予傳感器*的結(jié)構(gòu)強度和均勻特性。使密析爾濕度傳感器具備其他氧化鋁傳感器所*的穩(wěn)定性。
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